布图的检查装置、检查方法以及半导体装置的制造方法

摘要

本发明提供一种即使在检查对象的尺寸在检查光的波长以下，也能够进行高分辨度检查的布图检查装置、布图检查方法以及半导体装置的制造方法。检查装置具有用来通过透过光进行检查的第1投光系统、用来通过反射光进行检查的第2投光系统中的至少一个，用来通过对在检查对象上的布图图像进行摄像的检查光学系统，用来承载并移动上述检查对象的台子，用来增强在上述布图上衍射的光的衍射光控制单元。