半導体製造ガス用ウルトラクリーン容器（中型）の再検査を超音波検査法で行う試み

摘要

本研究は、日本でも高圧ガス容器の再検査を超音波検査法でできるようにすることを最終目標とし、その第1歩として、本論では、ウルトラクリーン容器の場合、超音波検査法は半日で済むのに対し、水圧試験法では1週間を要する理由を示した上で、日本で超音波検査を行うときの技術的課題、解決するための考え方、結果、を報告し、今後の課題を示す。