半導体製造装置の電熱式排ガス処理装置：出入口スクラバー付加電熱式除害装置による半導体製造用ガスの除害

摘要

半導体製造には、各種の危険有害ガスや地球温暖化ガスが使われ、半導体製造によって生じる副生成物とともに、これらのガスの除害は欠くことができない。 特に、地球温暖化に関しては、2010年の目標達成を目指し、2006年にはIPCC（地球温暖化に関する政府間パネル）から、地球温暖化ガスのガイドラインに対して見直しが行われ、地球温暖化効果の高いPFC（全フッ化炭化水素）ガスに対して、その排出量の測定に関して、より明確にすることが求められている。 このため、半導体製造においても、危険有害ガスとともに、PFCガスに対する除害とその把握が必須になっている。 カンケンテクノでは、排ガス入口の水スクラバー、電熱式反応器、除害ガス出口の水スクラバーの組み合わせという独自の方式で、これらのガスの除害を効率よく行うことに成功している。ここでは、その現状を紹介する。