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制造装置; 净化方法; 半导体; 化学汽相淀积; 腐蚀性气体; 净化处理; 惰性气体; 气体处理;
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机译:化学汽相淀积均匀生长单层MoS 2 Subscript>薄膜的大面积生长
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机译:使用激光烧蚀的塑料层压板制造的平行微流道固定装置用于DNA的电化学和化学发光生物检测
机译:真空紫外直接激发型光化学汽相淀积法研究SIO2薄膜的低温生长
机译:用于材料的化学气相沉积的方法和装置。
机译:等离子体化学汽相淀积装置及采用该装置的化学汽相淀积方法及装置内部的清洗方法
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机译:等离子体化学汽相淀积方法,装置及其制造,利用所述装置的半导体装置的制造
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