カラーチップ外観検査装置の最新検査手法＜カラーチップ外観検査装置“第二世代”Vi-4304Cの検査技術＞

摘要

近年、半導体製造の検査工程において、カラー検査の必要性が急速に拡大している。これらの需要に応えるため、当社は第二世代となる最新のカラー検査装置をリリースした。本稿では、新たに開発したカラー検査技法を紹介するとともに、カラー検査を色欠陥検出以外に応用した事例についても解説する。