多边滚筒溅射装置及其溅射方法、由其形成的被覆微粒子

摘要

本发明提供一种用于在微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜的多边滚筒溅射装置、多边滚筒溅射方法及由其形成的被覆微粒子、微型胶囊及其制造方法。本发明的多边滚筒溅射方法是：将微粒子(3)收容在相对于重力方向大致平行的断面的内部形状是多边形的真空容器(1)内，以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器(1)旋转，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内(1)的微粒子(3)，同时进行溅射，从而在该微粒子(3)的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。

说明书

技术领域

本发明涉及用于在微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜的多边滚筒溅射装置、多边滚筒溅射方法及由其形成的被覆微粒子、微型胶囊及其制造方法。

背景技术

现在，粉体作为基础应用成为极具魅力的试料，被用于各种领域。例如，利用粉体细的细度，使用于化妆品的基料，或者为了形成单磁畴利用铁氧体微粒子作为涂布在磁带上磁性体。另外，作为粉体的特性有其表面积的大小，利用其还可以制作微粒子催化剂。为了极可能成为这样的材料，迫切要求以功能性材料修饰粉体表面、显现高功能、新功能的新材料的开发技术。

作为目前使用的例子可以举出以增大上述铁氧体微粒子的保磁力作为目的用Co膜被覆的例子。但是，由于难以使用粉体和难以完全均匀地修饰各个粉体微粒子，所以修饰粉体表面的技术没怎么开发。

目前所利用的方法可以举出置换镀法、电解镀法、化学蒸镀法、真空蒸镀法等。但是，镀敷法必须处理毒性强的废液，对于环境的负担非常大。化学蒸镀法因物质不同其过程变得复杂而使用条件受到限制。真空蒸镀法难以使所有的面均匀地成膜。这样，至今用粉体修饰法不能制作所设计的粉体材料。

发明内容

本发明考虑了上述这样的情况，其目的在于可以提供不必象镀敷法那样处理废液、对环境的负担小的多边滚筒溅射装置、多边滚筒溅射方法及其由其形成的被覆微粒子、微型胶囊及其制造方法。

为了解决上述课题，着眼于作为物理蒸镀法之一的溅射法。虽然该方法也难以使全部粉体均匀地被覆微粒子，但是可以认为，由于不选择载体、从金属到无机物都可以修饰粉体表面、环境负担小等理由而其通用性非常高。因此，此次发明了多边滚筒溅射方法。该方法是在使装入粉体的多边滚筒旋转时搅拌或者旋转粉体、均匀地修饰粉体的方法。

以下，具体地进行说明。

本发明的多边滚筒溅射装置的特征在于，具备：作为收容微粒子的真空容器并相对于重力方向大致平行的断面的内部形状是多边形的真空容器、以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器旋转的旋转机构和配置在上述真空容器内的溅射靶；通过用上述旋转机构旋转上述真空容器搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子同时进行溅射，在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。

按照上述多边滚筒溅射装置，以相对于与重力方向大致平行的断面的大致垂直方向(即，大致水平方向)作为旋转轴使真空容器自身旋转而旋转搅拌微粒子自身，另外将真空容器的内部断面形状制成多边形，藉此，可以用重力使微粒子定期地落下。因此，可以飞跃地提高搅拌效率，可以防止使用微粒子时再三成为问题的由水分和静电力造成的微粒子的凝聚。也就是说，通过旋转搅拌时，可以同时并且有效地进行凝聚的微粒子的粉碎。从而，可以在粒径非常小的微粒子上被覆比该微粒子粒径更小的超微粒子或者薄膜。另外，不必象镀敷法那样处理废液，对环境的负担也小。

另外，在本发明的多边滚筒溅射装置中，上述真空容器也可以还具备增加振动的振动器。藉此，可以更有效地防止使用微粒子时成为问题的凝聚。

另外，在本发明的多边滚筒溅射装置中，也可以还具备用于加热上述真空容器内的微粒子的加热器。例如，使真空容器的内部成为真空时，通过用加热器加热真空容器，可以使吸附在该真空容器内及微粒子表面上的水分气化而排气。因而，由于可以使使用微粒子时成为问题的水从真空容器内除去，所以可以更有效地防止微粒子的凝聚。

另外，在本发明的多边滚筒溅射装置中，也可以还具备收容在上述真空容器内的棒状构件，在旋转上述真空容器时上述棒状构件还可以赋予微粒子以振动而促进搅拌或者旋转。另外，棒状构件对微粒子凝聚体的机械粉碎也是有效果的。这里的棒状构件只要能够赋予微粒子以振动，就可以使用各种各样的，也包括螺钉。

本发明的多边滚筒溅射方法的特征在于，将微粒子收容在相对于重力方向大致平行的断面的内部形状是多边形的真空容器内，以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器旋转，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。

按照上述多边滚筒溅射方法，以相对于与重力方向大致平行的断面的大致垂直方向(即，大致水平方向)作为旋转轴使真空容器自身旋转而搅拌或者旋转微粒子，另外将真空容器的内部断面形状制成多边形，藉此，可以用重力使微粒子定期地落下。因此，可以飞跃地提高搅拌效率，可以防止使用微粒子时再三成为问题的由水分和静电力造成的微粒子的凝聚。也就是说，通过旋转搅拌时，可以同时并且有效地进行凝聚粒子的粉碎。从而，可以在粒径非常小的微粒子上被覆比该微粒子粒径更小的超微粒子或者薄膜。另外，不必象镀敷法那样处理废液，对环境的负担也小。

本发明的多边滚筒溅射方法的特征在于，将微粒子收容在内部断面形状具有多边形的真空容器内，使上述微粒子增加振动，同时以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器旋转，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。

本发明的多边滚筒溅射方法的特征在于，将微粒子收容在内部断面形状具有多边形的真空容器内，加热上述真空容器，同时以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器旋转，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。

本发明的被覆微粒子的特征在于，通过以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴旋转内部断面形状具有多边形的真空容器，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。

本发明的被覆微粒子的特征在于，通过以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴旋转内部断面形状具有多边形的真空容器，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时使上述微粒子增加振动，而且进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。

本发明的被覆微粒子的特征在于，加热内部断面形状具有多边形的真空容器，同时以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴旋转上述真空容器，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，而且进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。

另外，在本发明的被覆微粒子中，上述超微粒子或薄膜也可以由高分子材料、无机材料、金属材料、合金材料及碳素材料中的任一种材料构成。也可以使用例如富勒烯、碳纳米管、金刚石、以活性碳为代表的碳素材料。

另外，在本发明的被覆微粒子中，上述微粒子也可以由陶瓷构成，上述超微粒子或薄膜也可以由催化性物质、电化学催化性物质、光功能性物质、磁功能性物质及电·电子功能性物质中的任一种物质构成。上述光功能性物质包括例如化妆品、涂料等。

另外，例如在Al₂O₃粉末上被覆Pt或Pd的场合，可以形成与Pt整体或Pd整体具有同等的催化特性和电极特性的被覆微粒子。

另外，在本发明的被覆微粒子中，上述微粒子也可以由高分子材料、有机材料、金属材料、无机材料及碳素材料中的任一种材料构成。

另外，上述微粒子的粒径优选在5μm或其以下，但是不言而喻，对于粒径在5μm或其以上的微粒子也可以适用本发明。

另外，例如，在高分子粉末上被覆Pt的场合，可以赋予高分子粉末以导电性。另外，被覆微粒子也可以适用于液晶显示面板中使用的导电性间隔件。

本发明的微型胶囊的制造方法的特征在于，将微粒子收容在相对于重力方向大致平行的内部形状是多边形的真空容器内，以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器旋转，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜，再除去成为上述被覆的超微粒子或薄膜的母体的上述微粒子。

另外，除去微粒子时，优选利用溶解、气化等的方法。

本发明的微型胶囊的制造方法的特征在于，将微粒子收容在内部断面形状具有多边形的真空容器内，使上述微粒子增加振动，同时以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器旋转，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜，再除去成为上述被覆的超微粒子或薄膜的母体的上述微粒子。

本发明的微型胶囊的制造方法的特征在于，将微粒子收容在内部断面形状具有多边形的真空容器内，加热上述真空容器，同时以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器旋转，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜，再除去成为上述被覆的超微粒子或薄膜的母体的上述微粒子。

本发明的微型胶囊的特征在于，通过以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴旋转内部断面形状具有多边形的真空容器，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜，再除去成为该被覆的超微粒子或薄膜的母体的上述微粒子。

本发明的微型胶囊的特征在于，通过以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴旋转内部断面形状具有多边形的真空容器，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时使上述微粒子增加振动，而且进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜，再除去成为该被覆的超微粒子或薄膜的母体的上述微粒子。

本发明的微型胶囊的特征在于，加热内部断面形状具有多边形的真空容器，同时以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴旋转上述真空容器，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，同时进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜，再除去成为该被覆的超微粒子或薄膜的母体的上述微粒子。

按照如以上说明的本发明，就可以提供不必象镀敷法那样处理废液、对环境的负担小的多边滚筒溅射装置、多边滚筒溅射方法及其由其形成的被覆微粒子、微型胶囊及其制造方法。

附图说明

图1是表示由本发明实施方式的多边滚筒溅射装置的概略的构成图。

图2(A)是表示溅射前的微粒子(粉体试料)和溅射后的被覆微粒子的照片，图2(B)是用光学显微镜摄影溅射前的微粒子(粉体试料)和溅射后的被覆微粒子的照片。

图3(A)是Pt被覆的Al₂O₃微粒子的SEM照片(倍率500倍)，图3(B)是表示根据EDS(能量色散分光计)的Al的元素测定的图，图3(C)是表示根据EDS的Pt的元素测定的图。

图4(A)是Pt被覆的Al₂O₃微粒子的SEM照片(倍率5000倍)，图4(B)是表示根据EDS的Al的元素测定的图，图4(C)是表示根据EDS的Pt的元素测定的图。

图5(A)是表示在1N的H₂SO₄中的Pt被覆的Al₂O₃微粒子的电流·电位曲线的图，图5(B)是表示φ1的Pt圆盘电极在相同溶液中的CV图。

具体实施方式

以下参照附图说明本发明的实施方式。

图1是表示由本发明实施方式的多边滚筒溅射装置的概略的构成图。该多边滚筒溅射装置是用于在微粒子(粉体)的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子(这里的超微粒子指比微粒子粒径小的微粒子)或者薄膜的装置。

多边滚筒溅射装置具有在微粒子(粉体试料)3上被覆超微粒子或者薄膜的真空容器1，该真空容器1具备直径200mm的圆筒部1a和在其内部设置的断面为六边形的滚筒(六边型滚筒)1b。这里所示的断面是相对于重力方向大致平行的断面。另外，在本实施方式中，使用六边形的滚筒1b，但是对此不作限定，也可以使用除六边形以外的多边形滚筒。

在真空容器1中设旋转机构(未图示)，由该旋转机构按箭头所示那样旋转六边型滚筒1b，搅拌或者旋转该六边型滚筒1b内的微粒子(粉体试料)3，同时进行被覆处理。由上述旋转机构旋转六边型滚筒时的旋转轴是大致与水平方向(相对于重力方向垂直的方向)平行的轴。另外，在真空容器1内将由Pt构成的溅射靶2配置在圆筒的中心轴上，该靶2按照可以自由地改变角度那样构成。藉此，旋转六边型滚筒1b同时进行被覆处理时，可以使靶2对着粉体试料3所处的方向，因此可以提高溅射效率。另外，在本实施方式中，使用Pt靶，但是也可以使除Pt以外的材料(例如Pd、Ni等)被覆在微粒子上，该场合使用由被覆的材料构成的靶。

真空容器1连接配管4的一端，该配管4的另一端连接第1阀门12的一侧。第1阀门12的另一侧连接配管5的一端，配管5的另一端与涡轮分子泵(TMP)10的吸气侧连接。涡轮分子泵10的排气侧与配管6的一端连接，配管6的另一端与第2阀门13的一方侧连接。第2阀门13的另一侧与配管7的一端连接，配管7的另一端与泵(RP)11连接。另外，配管4与配管8的一端连接，配管8的另一端与第3阀门14的一侧连接。第3阀门14的另一方侧与配管9的一端连接，配管9的另一端与配管7连接。

本装置具备用于加热真空容器1内的粉体试料3的加热器17。另外，本装置具备用于使真空容器1内的粉体试料3增加振动的振动器18。另外，本装置具备测定真空容器1的内部压力的压力计19。另外，本装置具备将氮气导入真空容器1内的氮气导入机构15，同时具备将氩气导入真空容器1内的氩气导入机构16。另外，本装置具备将高频施加于靶2和六边型滚筒1b之间的高频施加机构(未图示)。

以下说明使用上述多边滚筒溅射装置在微粒子3上被覆超微粒子或者薄膜的多边滚筒溅射方法。

首先，将约6克粉体试料3导入六边型滚筒1b内。作为该粉体试料3使用120目大小的α-Al₂O₃(ニラコ，纯度99.9％)粉体。另外，靶2使用Pt。另外，在本实施方式中使用Al₂O₃粉体，但是对此不作限定，也可以使用由其它材料构成的粉体。只要使用本多边滚筒溅射方法，就可以在广泛材料的粉体上被覆超微粒子或者薄膜。

接着，用涡轮分子泵10使六边型滚筒1b内形成高真空状态，用加热器17将六边型滚筒加热至200℃的同时，使六边型滚筒内减压到5×10^-4Pa。其后，由氩气供给机构16或者氮气供给机构15将氩气或者氮气等惰性气体导入六边型滚筒1b内。此时的六边型滚筒内的压力是2Pa左右。也可以根据情况将氧和氢的混合气体导入六边型滚筒1b内。而且，由旋转机构在100W、30分钟内、20rpm的条件下旋转六边型滚筒1b，从而旋转、搅拌六边型滚筒1b内的粉体试料3。此时，靶对着粉体试料所处的方向。其后，由高频施加机构将高频施加于靶2和六边形滚筒1b之间，在粉体试样3的表面上溅射Pt。这样可以在微粒子3的表面上被覆超微粒子或者薄膜。

按照上述实施方式，可以由旋转六边型滚筒自身而旋转搅拌粉体自身，另外将滚筒制成六边形，藉此，可以用重力使粉体定期地落下。因此，可以飞跃地提高搅拌效率，可以防止使用粉体时再三成为问题的由水分和静电力造成的微粒子的凝聚。也就是说，通过旋转搅拌时，可以同时并且有效地进行凝聚粉体的粉碎。从而，可以在粒径非常小的微粒子上被覆比该微粒子粒径更小的超微粒子或者薄膜。具体地说，可以在粒径为5μm或其以下的微粒子上被覆超微粒子或者薄膜。

另外，在本实施方式中，在真空容器1的外侧安装加热器17，由该加热器17可以将六边型滚筒1b加热至200℃。因此，使真空容器1的内部形成真空时，通过用加热器17加热六边形滚筒，可以使该六边形滚筒内的水分气化而排气。因而，由于可以使使用粉体时成为问题的水从六边形滚筒内除去，所以可以更有效地防止粉体的凝聚。

另外，在本实施方式中，在真空容器1的外侧安装振动器18，由该振动器18可以使六边形滚筒内的粉体3增加振动。藉此，可以更有效地防止使用粉体时成为问题的凝聚。

另外，在本实施方式中，由于通过多边滚筒溅射方法在粉体试料3的表面上被覆微粒子，所以其优点在于，不必进行现有技术的镀敷法那样的废液处理，对环境的负担也可以小。

另外，在上述实施方式中，由振动器18使六边型滚筒内的粉体3增加振动，但是，也可以代替振动器18，或者在振动器18的基础上，以将棒状构件收容在六边型滚筒内的状态旋转该六边型滚筒，藉此，也可以使粉体3增加振动。藉此，可以更有效地防止使用粉体时成为问题的凝聚。

以下说明用上述多边滚筒溅射方法在Al₂O₃粉体表面上修饰Pt的超微粒子的试样(被覆微粒子)的电子显微镜观察的结果及电化学的行为。

图2(A)是表示溅射前的微粒子(粉体试料)和溅射后的被覆微粒子的照片。

如图2(A)所示，可以明显看出，溅射前的Al₂O₃粉体有白的透明感，但是溅射后的被覆微粒子明显具有金属光泽。另外，由于溅射后的被覆微粒子看不到白色的粒子，所以可以认为，在全部粒子上大致被覆了均匀的Pt。

图2(B)是用光学显微镜摄影溅射前的微粒子(粉体试料)和溅射后的被覆微粒子的照片。

两者都是光泽的具有某个平面和棱的粒子。相对于图2(B)中的左边的溅射前的粒子是透明的，而图2(B)中的右边的溅射后的粒子全部可以确认金属光泽。甚至粒子的角部也可以仔细观察到一样的金属光泽，粉体表面(微粒子表面)上看来好像已形成均匀的膜。

另外，为了调查被覆的Pt的形态，用SEM(倍率500倍)观察粉体表面。将该观察的结果示于图3。

图3(A)是Pt被覆的Al₂O₃微粒子的SEM照片(倍率500倍)，在图3(A)中，粒子是方柱，由平坦的面和锐角的棱构成。仅在断面上可以看到一部分凹凸。

由EDS元素分析Pt被覆的Al₂O₃微粒子。将该分析的结果示于图3(B)、(C)中。图3(B)是表示根据EDS的Al的元素测定的图，图3(C)是表示根据EDS的Pt的元素测定的图。在图3(B)、(C)中，元素的表面浓度用蓝色和白色的浓度表示。

根据图3(B)可以明显看出，Al元素遍及粒子全体而均匀分布。另外，粒子侧面的Al元素的浓度之所以淡，推测可能是由于面倾斜。另一方面，根据图3(C)，虽然Pt元素不象Al元素那样浓，但是全体粒子毕竟还是可以均匀地检测出。

另外，为了详细地调查在粒子表面上被覆的Pt的形态，用更高倍率(5000倍)观察试样表面。将该观察结果示于图4。

图4(A)是Pt被覆的Al₂O₃微粒子的SEM照片(倍率5000倍)。在图4(A)的SEM照片中，左侧反差明显的一方是粒子表面。由照片明显看出，粒子表面是极平坦的。另外，在表面上可以看到数个直径1μm或其以下的微粒子，关于该问题将在后述。

由EDS元素分析Pt被覆的Al₂O₃微粒子。将该分析的结果示于图4(B)、(C)中。图4(B)是表示根据EDS的Al的元素测定的图，图4(C)是表示根据EDS的Pt的元素测定的图。

根据图4(B)可以明显看出，Al与粒子表面形状同样地均匀分布。根据图4(C)，虽然与Al相比时Pt色淡，但是在粒子表面上均匀地分布。另外，甚至于粒子的棱部分的前端，也被Pt被覆。

由以上的结果可以明显看出，在粉体表面修饰了的Pt不是呈岛状，而是作为膜被覆粉体表面。另外，关于前述的存在于表面的微粒子，由于根据点(spot)的元素分析的结果不是Pt和Al，所以推测可能是在电子显微镜的试料调制过程中混入的尘埃。该结果在观察调制的其它几个粒子时，也得到同样的结果，可以认为，粉体的全部粒子被均匀的Pt膜覆盖。

以下，为了调查被覆的Pt被膜的电化学特性，进行循环伏安法-CV测定。该CV的测定，其对极使用Pt线、参照极使用饱和甘汞电极，在1N的硫酸(H₂SO₄)中由3者之间的极系进行。动作极按照以下那样制作。

首先，将以溅射法调制的粉体置于石墨毡上，以滤纸重叠。将其与对极一起用丙烯酸板夹住，使作为端子的石墨片与石墨毡的前端重叠而夹住。其后，使一端与硫酸接触，进行测定。恒电位仪使用SEIKO EG&GInstruments的Mode1263A。电位扫描速度取为20mV/sec，初期电位取为开路电位，在-240mV～1200mV之间进行测定。

CV的测定结果示于图5(A)中。图5(A)是表示在1N的H₂SO₄中的Pt被覆的Al₂O₃微粒子的电流·电位曲线的图。另外，为了比较，将φ1的Pt圆盘电极在相同溶液中的CV示于图5(B)。

两者的CV都在-50mV及-150mV vs.SCE附近可以看到伴随吸氢·脱氢的峰值。另外，在-250mV附近可以看到起因于产生氢的阴极电流的增加。另外，从+1100mV附近可以看到起因于产生氧的阳极电流的上升，同时在+500mV处可以看到基于Pt表面生成的PtO的还原的峰值。由以上结果可以确认，本次调制的Al₂O₃上的Pt被膜具有与整体Pt同等的电化学特性。

由以上所述可以确认，使用上述多边滚筒溅射装置，可以在Al₂O₃粒子表面上制成均匀的Pt膜，另外，被覆的Pt的电化学特性与整体Pt相同，上述多边滚筒溅射装置作为其它的无机粒子、高分子粒子、甚至于离子结晶等表面被覆法(表面修饰法)是极有用的。

以下，说明本发明实施方式的微型胶囊。该微型胶囊可以使用于作为医药的药物载体。

使用图1所示的多边滚筒溅射装置由上述多边滚筒溅射方法可以在微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。此时，超微粒子或者薄膜的材料可以使用适宜在作为微型胶囊使用的场合的材料。

然后，利用溶解、气化等除去成为上述被覆的超微粒子或者薄膜的母体。藉此，可以使被覆的超微粒子或者薄膜的内部形成中空。从而，可以调制由被覆的微粒子或者薄膜构成的微型胶囊。

另外，本发明对上述实施方式不作限定，在不偏离本发明主旨的范围内可以实施各种变更。例如，也可以适宜地变更使薄膜在微粒子上成膜的成膜条件。另外，作为上述超微粒子或者薄膜材料，也可以使用高分子材料、无机材料、金属材料、合金材料或碳素材料。另外，上述微粒子由陶瓷构成的场合，作为上述超微粒子或薄膜的材料也可以是催化性物质、电化学催化性物质、光功能性物质(包括化妆品、涂料等)、磁功能性物质或者电·电子功能性物质。另外，作为上述微粒子的材料也可以使用高分子材料、无机材料、金属材料、合金材料或碳素材料。