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化学溅射; 磁控溅射; CNx薄; 薄膜生长; 薄膜组织;
机译:直流磁控溅射与高功率脉冲磁控溅射工艺在不同惰性气体条件下生长CNX薄膜的比较研究
机译:具有不同惰性气体的CNX薄膜生长的直流磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射工艺的对比研究
机译:通过高白光敏感性的RF磁控溅射由RF磁控溅射生长的Cu_2ZnSNS_4薄膜的薄Cu层间介导的控制
机译:磁控溅射方法随后通过磁控溅射方法形成结构组织铁电薄膜的物理技术基础
机译:高分子絮凝:化学和物理变量对絮凝物形成和生长的影响。
机译:Ge含量对磁控溅射GeZrOx基结构中Ge纳米团簇形成的影响
机译:直流磁控溅射与大功率脉冲磁控溅射工艺在不同惰性气体条件下CNX薄膜生长的比较研究
机译:海洋大气中的硫化学及其对气溶胶形成和生长的影响。
机译:用于控制磁场形成的单元和磁控溅射装置以及使用该单元的磁控溅射方法和能够执行均匀沉积度的磁控溅射装置
机译:可以切换两种磁通分布模式(平衡模式/非平衡模式)的磁控溅射设备,使用该设备和双模式磁控溅射设备形成无机成膜材料的膜的成膜方法,以及使用该装置在低温下形成膜的无机成膜材料的成膜方法
机译:空心阴极磁控溅射靶和空心阴极磁控溅射靶的形成方法
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