SUS440C製ローラ上に形成した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中におけるすべり摩擦機構

摘要

固体潤滑軸受を真空環境下で使用するロボットに適用する場合，真空中のみならず試運転を行う大気中でも優れた潤滑特性が要求される．二硫化モリブデンスパッタ膜は真空中で優れた潤滑特性を有する固体潤滑剤であるが，大気中ですべり摩擦試験を行うと高湿度領域で摩擦寿命は急減する．Matsumotoらはこの摩擦寿命の減少には水分の影響度が大きいとしている．しかし，すべり摩耗機構に関しての考察はされていない．筆者らはこの原因を明らかにして，大気中でも潤滑特性の低下が少ない二硫化モリブデンスパッタ膜の開発につなげようと考えている．そのための前段階として，まず二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中におけるすべり摩擦機構を明らかにすることを目指している．