将平面用溅射装置改造为微粒用溅射装置

摘要

采用在真空室内加旋转筒的方法,将某平面用溅射装置改造为微粒用溅射装置.运行结果表明,利用筒体旋转的方法,可以在粒度100 μm左右的微粒表面包覆均匀完整的铬膜层,微粒形状对表面涂层的均匀、完整、涂层速度等有重要影响,微粒被筒体带动的力主要为二者间的分子间作用力,离心力起的作用很小.若将用于平面镀涂的溅射装置改造为处理微粒,需对溅射装置中的溅射靶和真空系统进行较大的改造.