一种用于涂敷板的方法和用于实施该方法的涂敷板系统

摘要

一种涂敷板的方法和用于实施该方法的板涂敷系统。本发明的方法意在用于利用液体涂敷材料涂敷板,特别是用于利用液体光敏抗蚀剂涂敷意在用于电路板的基板。其中,利用输送装置输送需涂敷的板通过涂敷辊同时与涂敷辊相接触。在涂敷过程中竖直定位的涂敷辊旋转,板处在悬挂位置由输送装置夹持板的上边缘并由输送装置导引通过竖直定位的涂敷辊。