一种基于各向异性湿法刻蚀制备介电层的方法、介电层、柔性压力传感器

摘要

本发明公开了一种基于各向异性湿法刻蚀制备介电层的方法，包括制备离子凝胶、制作模板和翻模步骤。该方法利用硅的各向异性湿法刻蚀原理在硅片上刻蚀出随机分布的不同尺寸的金字塔微结构，并以此为模板制作具有随机交错分布的山脊形微结构的介电层。制备工艺简单，成本较低，适合于批量化生产。应用上述介电层制备的柔性电容传感器拥有极高的灵敏度，同时还具有较强的柔性，可以任意弯曲。在44Pa的压强下灵敏度有145.5kPa‑1，而当压强为30kPa时，灵敏度仍然有32.2kPa‑1。传感器的柔韧性表现在当传感器弯折180°时，其仍能正常工作。