Stanford University.;
Nanopatterning; Self-assembled monolayers;
机译:通过集成原子层沉积和原子层蚀刻在TiO_2区域选择性沉积期间反应剂量对抗体的影响
机译:原子层沉积前体通过聚合物掩膜层的传输行为:对区域选择性原子层沉积的影响
机译:了解原子层沉积过程中多层系统的增长机制
机译:Cu / Low-k介电图案的介电体上介电体的区域选择性原子层沉积
机译:薄膜应用的分子工程:区域选择性原子层沉积(ALD)和分子原子层沉积(MALD)。
机译:单层氧化钛的原子层沉积石墨烯:关于了解成核和原子化的原子尺度研究成长性
机译:贵金属的区域选择性原子层沉积:聚合氟碳层作为有效生长抑制剂