一种MEMS压阻传感器的内建自测试装置及测试方法

摘要

本申请公开了一种MEMS压阻传感器的内建自测试装置及自测试方法，所述MEMS压阻传感器的内建自测试装置在对MEMS压阻传感器进行测试时，无需对MEMS压阻传感器施加物理激励即可实现传感器灵敏度的测量与计算，简化了MEMS压阻传感器的测试过程，提高了生产效率；并且同样由于MEMS压阻传感器的内建自测试装置无需借助片外设备对MEMS压阻传感器施加物理激励，实现了在测试过程中无需片外设备的目的，降低了测试成本以及生产成本。