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王鹏; 杨帆; 王楠; 王明武; 梁应选;
陕西理工大学机械工程学院 陕西省工业自动化重点实验室 陕西汉中 723000;
加速度传感器; 侧向效应; 复合八梁; 惠斯登电桥;
机译:高敏感和低串扰角度加速度传感器,使用镜面对称液环通道和MEMS压阻悬臂
机译:平面外双挠性MEMS压阻式加速度计,具有低交叉轴灵敏度
机译:具有自抵消跨轴灵敏度的六束压阻式加速度传感器
机译:一维和三维单片集成压阻MEMS高加速度传感器的设计
机译:柔性基板上的MEMS压阻式压力传感器,采用镍铬合金和CNT /聚酰亚胺纳米复合材料作为压阻器。
机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析
机译:具有旋转对称螺旋通道的双轴角度加速度传感器和MEMS压阻性悬臂
机译:低千叶范围内高灵敏度压阻式冲击传感器的研制
机译:MEMS压阻式加速度传感器
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
机译:MEMS MEMS压阻式压力传感器及其制造方法
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