基板搬运装置以及求出基板搬运机器人与基板载置部的位置关系的方法

摘要

包括：在基板载置部上的改变目标的以旋转轴为旋转中心的旋转位置及检测区域的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置中的至少一方而得的多个旋转位置上，用物体检测传感器对作为目标的表面的一部分而位于以旋转轴为中心且通过目标的规定的圆周的内周侧的部分进行检测的步骤；对于多个旋转位置的每一个，求出与表示用物体检测传感器检测到目标时的从机器人基准轴至目标的距离的指标长度存在相关关系的量的步骤；以及基于多个旋转位置中的与指标长度存在相关关系的量最大或最小者，求出机器人基准轴与旋转轴的位置关系的步骤。