考虑距离的薄膜封装的MEMS器件组件及电子设备

摘要

本发明涉及一种MEMS器件组件，包括：MEMS器件，具有功能部件、声学镜和封装表面，所述声学镜具有边界，所述功能部件与所述声学镜在器件的厚度方向上至少部分重叠；封装薄膜，设置于所述封装表面，用于形成封装所述MEMS器件的功能部件的封装空间，所述封装空间具有封装边缘，其中：所述封装边缘与所述边界之间的横向距离在0.5微米‑20微米的范围内。该MEMS器件可以为薄膜体声波谐振器。本发明还涉及一种具有上述MEMS器件组件的电子设备。