机译:完全适合开发用于MEMS器件的薄膜封装工艺的设计工具
LETI, MINATEC Campus, Grenoble, France;
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LETI, MINATEC Campus, Grenoble, France;
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thin film packaging; deflection; stiffness; nanoin-dentation; simulation; design;
机译:纳米多孔柱状薄膜在MEMS器件的晶圆级包装中的使用
机译:用于MEMS器件的稳健的薄膜晶圆级封装方法
机译:铝薄膜的多尺度仿真,用于设计高度可靠的MEMS器件
机译:一种完全适用于开发用于MEMS器件的薄膜封装过程的设计工具
机译:椭圆偏振光谱法作为制造碲化镉薄膜光伏器件的过程控制工具
机译:Cu–III–VI2薄膜太阳能电池产业化的步骤:将材料/设备设计链接到非化学计量光伏材料的工艺设计
机译:用于基于全氧化物$ LaNiO_3 / pb(Zr,Ti)O_3 / LaNiO_3薄膜的压电mEms器件的大面积脉冲激光沉积和组装工艺
机译:使用有源薄膜在恶劣环境中阻尼mEms器件