一种逐层交替掺杂低漏电流BiFeO3 薄膜及其制备方法

摘要

一种逐层交替掺杂低漏电流BiFeO3薄膜及其制备方法，将硝酸铋、硝酸铁和硝酸溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中，得到前驱液A；将硝酸铋、硝酸铁和硝酸钐溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中，得到前驱液B；先用前驱液A旋涂在FTO/glass基片上，烘烤并退火制备Tb掺杂的晶态的BiFeO3薄膜，在此薄膜上旋涂前驱液B，烘烤并退火制备出Sm掺杂的晶态的BiFeO3薄膜，在Sm掺杂的晶态的BiFeO3薄膜上交替制备Tb掺杂的晶态的BiFeO3薄膜和Sm掺杂的晶态的BiFeO3薄膜，即得到逐层交替掺杂低漏电流BiFeO3薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺，设备要求简单，适宜在大的表面和形状不规则的表面上制备薄膜，且化学组分精确可控。