公开/公告号CN110289250A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-27
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力集成电路制造有限公司;
申请/专利号CN201910404531.X
申请日2019-05-16
分类号H01L23/544(20060101);G01R31/28(20060101);
代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人郭四华
地址 201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
入库时间 2024-02-19 14:03:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/544 申请日:20190516
实质审查的生效
2019-09-27
公开
公开
机译: 薄晶圆用于燃料电池的硅晶圆具有一组通孔,这些通孔充满了导电碳纳米管,这些碳纳米管横向于晶圆表面取向,其中纳米管为多壁型
机译: 通过导电的基质和冷却电解质在全硅硅通孔(TSV)中电解沉积铜芯片到芯片,芯片到晶圆和晶圆到晶圆的互连过程
机译: 使用加热的基板和冷却的电解液的硅通孔(TSV)中的铜芯片到芯片,电沉积芯片到晶圆和晶圆到晶圆的互连的方法