机译:使用X射线微束衍射观察晶圆对晶圆结构中直通硅通孔周围的晶格间距波动和应变波动
Graduate School of Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603, Japan;
Graduate School of Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603, Japan;
Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi, Kanagawa 243-0197, Japan ,Tokyo Institute of Technology Yokohama 226-8503, Japan;
Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi, Kanagawa 243-0197, Japan ,Tokyo Institute of Technology Yokohama 226-8503, Japan;
Tokyo Institute of Technology Yokohama 226-8503, Japan ,The University of Tokyo, Bunkyo, Tokyo 113-8656, Japan;
Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi, Kanagawa 243-0197, Japan;
Tokyo Institute of Technology Yokohama 226-8503, Japan ,The University of Tokyo, Bunkyo, Tokyo 113-8656, Japan;
Graduate School of Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603, Japan;
机译:使用基于同步加速器的微束X射线衍射对硅通孔中的铜残余应力进行无损测量
机译:在超晶格中观察卫星结构X射线衍射所需的最少层对数。超晶格交替层中弹性应力的测量和计算
机译:OFHC铜中大应变位错亚结构形成的X射线微束衍射研究
机译:OFHC铜大应变位错亚结构形成的X射线微沟衍射研究
机译:多晶铝薄膜中应变的X射线微束衍射研究。
机译:铜通硅通孔中单个位错单元的完整弹性应变和应力张量测量
机译:利用微束X射线衍射技术绘制生物材料中的晶格间距和成分
机译:通过X射线微束衍射测量al互连线中的应变和纹理