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公开/公告号CN110095955A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201810097054.2
发明设计人 田湍;潘炼东;于大维;赵丽丽;杜荣;张成爽;范纪铭;周许超;
申请日2018-01-31
分类号
代理机构北京品源专利代理有限公司;
代理人孟金喆
地址 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
入库时间 2024-02-19 12:09:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F9/00 申请日:20180131
实质审查的生效
2019-08-06
公开
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