摘要:采用斜入射方法可以在菲索干涉仪上实现毛玻璃的面形测试.为了在测试时获得高对比度的干涉条纹,理论分析了干涉条纹对比度与其影响因素之间的关系,实验测量了编号分别为180,W40,W28,W14,W10的五种磨料精磨出的毛玻璃样品表面,通过移相算法计算得到各样品在不同入射角下的干涉条纹的对比度值,从而确定了后四块样品能够获得可分辨干涉条纹的入射角阈值分别为83°,82°,76°,75°。作为对比,采用英国Taylor-Hobson公司生产的表面粗糙度仪测量五块毛玻璃样品的表面粗糙度,计算得到不同粗糙度的表面在各入射角下的理论对比度值,理论值与实验结果相吻合。斜入射方法能够测量W40以及粒度更小的磨料磨得的毛玻璃表面,并且随着磨料粒度的减小测试中能够观察到可分辨干涉条纹的入射角范围越大。