真空蒸发制备ZnSe薄膜的结构及光学特性

摘要

利用真空蒸发的方法在干净的玻璃衬底上制备了ZnSe薄膜，运用X射线衍射技术研究了薄膜的结构及其微观结构参数。此外，还运用紫外可见分光光度计对薄膜的光吸收特性及其光学带隙进行了研究。制备的ZnSe薄膜均是立方晶系闪锌矿多晶薄膜。实验对不同配比制备的ZnSe薄膜进行了比较研究，结果表明，当热处理温度T=300°C，原子配比为Zn：Se=0.9：1时，可制备较理想的ZnSe薄膜。