公开/公告号CN109313189A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 纳米医学工程诊断学公司;
申请/专利号CN201780037219.0
申请日2017-06-15
分类号
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人张全信
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 06:52:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N33/543 申请日:20170615
实质审查的生效
2019-02-05
公开
公开
机译: 制备石墨烯量子点硬掩模组合物的方法,该方法包括通过使用硬掩模组合物形成图案的方法和由该硬掩模组合物形成的硬掩模获得的石墨烯量子点。
机译: 产生用于图案化层的硬掩模的方法以及用于图案化层的硬掩模
机译: 高蚀刻电阻旋转碳硬掩模组合物和使用该碳硬掩模组成和图案化方法