首页> 外文OA文献 >Fabrication of Functional Microdevices in SU-8 by Multi-Photon Lithography

【2h】

Fabrication of Functional Microdevices in SU-8 by Multi-Photon Lithography

机译：多光子光刻在SU-8中制造功能微生物

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Pooria Golvari; Stephen M. Kuebler;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2021
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Functionalized SU-8 patterned with x-ray lithography [J] . S. Balslev, F. Romanato Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics and Nanometer Structures . 2005,第6期

机译：用X射线光刻技术对功能化的SU-8进行图案化
2. Micro-fabrication method of graphite mesa microdevices based on optical lithography technology [J] . Zhang Cheng, Wen Donghui, Zhu Huamin, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2017,第12期

机译：基于光学刻度技术的石墨台面微型微型微型制造方法
3. Electron Beam Lithography Fabrication of SU-8 Polymer Structures for Cell Studies [J] . Vinje Jakob, Beckwith Kai S., Sikorski Pawel Journal of Microelectromechanical Systems . 2020,第2期

机译：电子束光刻制造SU-8聚合物结构用于细胞研究
4. Fabrication of Functional Nanophotonic Devices by Multi-Photon Lithography [C] . Stephen M. Kuebler, Chun Xia, Rashi Sharma, Organic Photonic Materials and Devices XXI . 2019

机译：多光子光刻技术制备功能纳米光子器件
5. Laser interference lithography for large area patterning and the fabrication of functional nanostructures [D] . Wathuthanthri, Ishan 2015

机译：激光干涉光刻技术，用于大面积构图和功能纳米结构的制造
6. Single-Mode Tapered Vertical SU-8 Waveguide Fabricated by E-Beam Lithography for Analyte Sensing [O] . Yu Xin, Gregory Pandraud, Yongmeng Zhang, 2019

机译：电子束光刻技术制作的单模锥形垂直SU-8波导用于分析物传感
7. Fabrication of capacitive pressure sensors using direct x-ray lithography of su-8 photoresist [O] . วัชรพล ภุมรา 2556

机译：使用su-8光刻胶的直接x射线光刻制造电容式压力传感器

Fabrication of Functional Microdevices in SU-8 by Multi-Photon Lithography

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅