一种铌酸锂和SU-8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺

摘要

本发明公开了一种铌酸锂和SU‑8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺。本发明包括第一芯片和第二芯片，第一芯片的一侧和第二芯片一侧拼接形成光纤陀螺；第一芯片包括从下到上依次层叠布置的硅衬底、二氧化硅缓冲层和铌酸锂单晶薄膜，所述铌酸锂单晶薄膜上集成布置光传输系统；第二芯片包括从下到上依次层叠布置的光刻胶涂层和第二硅衬底；在光刻胶涂层上集成布置谐振腔光路。光纤陀螺中的光束在光传输系统和谐振腔光路中传导，通过探测器来检测转动信息。本发明提高了光学陀螺系统的集成度，提高光纤陀螺的可靠性和环境适应性；采用球透镜和平面分光镜组合的方式，实现将波导中的光耦合进入谐振腔的功能，实现光在腔内谐振的功能，有效降低了腔内损耗。