首页> 外文OA文献 >Fabrication of capacitive pressure sensors using direct x-ray lithography of su-8 photoresist

【2h】

Fabrication of capacitive pressure sensors using direct x-ray lithography of su-8 photoresist

机译：使用su-8光刻胶的直接x射线光刻制造电容式压力传感器

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
วัชรพล ภุมรา;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2025
总页数
原文格式 PDF
正文语种 th
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Comparison of a new photoresist (DiaPlate 133) with SU-8 using both x-ray and ion beam lithographies [J] . Gonin Y, Munnik F, Benninger F, Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics and Nanometer Structures . 2004,第4期

机译：使用X射线和离子束光刻技术比较新型光刻胶（DiaPlate 133）与SU-8
2. Use of SU-8 photoresist for very high aspect ratio x-ray lithography [J] . A.L. Bogdanov Microelectronic Engineering . 2000,第1a4期

机译：SU-8光刻胶用于超高纵横比X射线光刻的用途
3. Fabrication of size controllable SU-8 nanochannels using nanoimprint lithography and low-pressure thermal bonding methods [J] . Micro & Nano Letters, IET . 2014,第2期

机译：使用纳米压印光刻技术和低压热粘合方法制造尺寸可控的SU-8纳米通道
4. Large area MEMS fabrication with thick SU-8 photoresist applied to an X-ray image sensor array [C] . Jurgen H. Daniel, Brent Krusor, Raj B. Apte, Conference on micromachining and microfabrication process technology . 2000

机译：大面积MEMS制造，将厚实的SU-8光致抗蚀剂应用于X射线图像传感器阵列
5. Fabrication of Multi-Layered, Freestanding, SU-8 Structures Using a Buried Photoresist Mask Method [D] . Walker, Zachariah Alexander. 2018

机译：使用掩埋的光刻胶掩模方法制造多层，独立式，SU-8结构
6. Fabrication and Performance of MEMS-Based Pressure Sensor Packages Using Patterned Ultra-Thick Photoresists [O] . Lung-Tai Chen, Jin-Sheng Chang, Chung-Yi Hsu, 2009

机译：基于图案化超厚光刻胶的基于MEMS的压力传感器封装的制造和性能
7. Fabrication and Performance of MEMS-Based Pressure Sensor Packages Using Patterned Ultra-Thick Photoresists [O] . Chen, Lung-Tai, Chang, Jin-Sheng, Hsu, Chung-Yi, 2009

机译：基于图案化超厚光刻胶的基于MEMS的压力传感器封装的制造和性能

Fabrication of capacitive pressure sensors using direct x-ray lithography of su-8 photoresist

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅