Ion Implantation; Silicon; Meetings; Point Defects; Inhibition; Excitation;
机译:单晶MeV硅离子注入过程中空位簇相关缺陷的产生
机译:注入重金属离子的硅中点缺陷复合物的原位研究
机译:硅中低温碳共注入:缺陷抑制和扩散模拟
机译:原位光激发诱导的离子注入硅中点缺陷产生的抑制
机译:离子注入的硼在硅中的扩散:晶格缺陷和共注入杂质的影响。
机译:离子注入与原位掺杂相结合制备硅纳米线p–n结的新方法
机译:通过原位光激发在离子注入期间抑制硅中的自填隙
机译:通过原位光激发在离子注入期间抑制硅中的自填隙