机译:硅中低温碳共注入:缺陷抑制和扩散模拟
Microelectronics 850 Rue Jean Monnet 38926 Crolles Cedex France Universite de Rouen GPM UMR CNRS 6634 BP 12 Avenue de I'Universite 76801 Saint-Etienne-du-Rouvray France;
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Applied Materials Gloucester 35 Dory Road Gloucester Massachusetts 01930 USA;
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