Silicides; Thin films; Tungsten compounds; Silicon; Auger electron spectroscopy; Barriers; Electrical resistance; Films; Heat; High temperature; High vacuum; Metals; Oxides; Processing; Reprints; Resistance; Stresses; Surfaces; Temperature;
机译:通过溅射和高温快速热加工对蓝宝石衬底形成二维钨二硫化薄膜的研究
机译:快速热处理过程中在Si(100),Si(III)和SOI衬底上生长硅化镁薄膜
机译:直流溅射功率和快速热加工温度对钨二硫化薄膜的影响
机译:用于检测温度漂移和快速热处理工具中氧气泄漏的钛二硅化物形成
机译:通过快速热处理形成TiSi(2):处理对材料性能的影响。
机译:基于陶瓷基底的钨hen薄膜热电偶的热应力范围分析和优化设计
机译:掺杂剂通过快速热处理在二硅氧化物形成期间再分配
机译:原位快速等温加工在(100)和(111)Inp上II-a氟化物膜固相外延生长中的作用