机译:避免阳极键合的玻璃-硅结构在深反应离子刻蚀中避免硅背面损伤的方法
Deep reactive ion etching; Microloading effect; Micromachining;
机译:避免阳极键合的玻璃-硅结构在深反应离子刻蚀中避免硅背面损伤的方法
机译:使用阳极键合的硅片作为蚀刻掩模对硼硅玻璃进行深度反应离子蚀刻
机译:基于深反应离子刻蚀的硅高级刻蚀,用于硅高纵横比微结构和三维微纳结构
机译:规避阳极键合玻璃-硅结构深反应离子刻蚀中的微负载效应的方法
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:结合隔离技术和深反应离子刻蚀形成硅纳米结构
机译:黑硅方法:通过轮廓控制确定深硅沟槽蚀刻中氟基反应离子蚀刻机参数设定的通用方法