避免硅微细结构中的结构层被释放后发生粘着的方法与设备

摘要

一种避免硅微细结构中的结构层被释放后发生粘着的方法，包含有下列步骤：制作一硅微细结构，其具有一基板，其上具有一结构层，该结构层具有一已被释放的释放部；将该硅微细结构放置于一充满顺磁性的气体的气室中，以及提供一磁场作用于该气体。