机译:碱性溶液中的硅各向异性蚀刻III:关于在KOH和KOH加IPA溶液中Si(100)各向异性蚀刻过程中形成空间结构的可能性
Anisotropic etching; Silicon; 3d structures; Single-crystal silicon;
机译:碱性溶液中的硅各向异性刻蚀III:关于在KOH和KOH + IPA溶液中Si(100)各向异性刻蚀过程中形成空间结构的可能性
机译:在KOH溶液中各向异性蚀刻硅晶体-第三部分-(hk0)板中微加工的3D结构的实验和理论形状
机译:机械搅拌和表面活性剂添加剂对碱性KOH溶液中硅各向异性刻蚀的影响
机译:在超高温KOH溶液中对具有光滑表面的Si {100}和{110}进行快速湿法各向异性蚀刻
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:KOH溶液中Si的一步各向异性湿法腐蚀制备的两层微结构
机译:在KOH溶液中通过一步各向异性湿法蚀刻si制备双层微结构