（100）Si在KOH中各向异性腐蚀的凸角补偿新方法

摘要

本文对Ｇ．Ｋ．Ｍａｙｅｒ等人提出的，用（１００）条对（１００）Ｓｉ凸角补偿的方法进行了深入研究，指出了该方法在腐蚀槽较窄时的局限性，在此基础上提出了一种改进的新方法，并给出了理论分析及实验结果．