机译:电感耦合等离子体化学气相沉积法制备均相纳米晶立方碳化硅薄膜
LOW-TEMPERATURE DEPOSITION; AMORPHOUS-SILICON; CARBON ALLOYS; LOW-FREQUENCY; SI; PHOTOLUMINESCENCE; CARBONIZATION; PARAMETERS; OPERATION; DENSITY;
机译:电感耦合等离子体化学气相沉积法制备均相纳米晶立方碳化硅薄膜
机译:氢稀释对低频电感耦合等离子体化学气相沉积法生长纳米晶碳化硅膜的影响
机译:衬底温度对电感耦合等离子体化学气相沉积法制备的氢化纳米晶硅薄膜结构,光学和形态性能的影响
机译:衬底偏置对Helicon波等离子体化学气相沉积中纳米晶碳化硅薄膜制备的影响
机译:碳化硅膜的热等离子体化学气相沉积。
机译:脉冲等离子体化学气相沉积法制备纳米多孔非晶碳化硼薄膜的摩擦学和热稳定性研究
机译:化学气相沉积法制备碳化硅薄膜的表征
机译:衬底温度和氢稀释比对热线化学气相沉积法生长纳米硅薄膜性能的影响