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机译:先进的介电阻挡层,蚀刻阻挡层和金属封盖材料
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机译:铜互连电迁移现象对阻挡金属材料的依赖性
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机译:用于Cu低k互连的高级金属和介电阻挡层盖膜
机译:SOFC互连应用中锡金属间金属材料的研究
机译:金属纳米粒子对改善纳米粒子的影响混合波导创建的Micro-SERS传感器的检测能力金属槽和电介质条的制造
机译:Cu /多孔超低k互连技术中的介质/金属扩散屏障
机译:稀土金属,激光晶体,半导体和介电材料的某些性质和特性的测定