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机译:位错对悬浮Ge膜的Ge / Si各向异性刻蚀的影响
机译:位错对悬浮Ge膜的Ge / Si各向异性刻蚀的影响
机译:湿法各向异性刻蚀对SiGe / Ge桥和膜进行微纳加工
机译:碱性溶液中的硅各向异性刻蚀IV有机和无机试剂对硅各向异性刻蚀工艺的影响
机译:使用晶圆键合和湿法各向异性刻蚀的具有凹角和尖角凸角的悬浮硅微结构
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:各向异性多步蚀刻用于在不锈钢上大面积制造表面微观结构以控制热辐射
机译:湿法各向异性刻蚀对SiGe / Ge桥和膜进行微纳加工
机译:各向异性两相介质中的界面边缘位错和位错壁。