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机译:在绝缘体上使用双面深反应离子蚀刻制造的光学MEMS加速度计
Nanyang Technol Univ Sch Mech &
Aerosp Engn Singapore 639798 Singapore;
Nanyang Technol Univ Sch Mech &
Aerosp Engn Singapore 639798 Singapore;
Griffith Univ Queensland Micro &
Nanotechnol Ctr 170 Kessels Rd Brisbane Qld 4111 Australia;
Nanyang Technol Univ Sch Mech &
Aerosp Engn Singapore 639798 Singapore;
MOEMS; double-sided DRIE; optical gratings; motion detection; SOI; accelerometer;
机译:在绝缘体上使用双面深反应离子蚀刻制造的光学MEMS加速度计
机译:一种通过多层厚度膜的深反应刻蚀制造的微型体微机械三轴加速度计
机译:倾斜对深反应离子刻蚀制造的MEMS磁盘谐振器阵列复合材料的压控调谐的影响
机译:力平衡加速度计,具有mG分辨率,使用硅聚变键合和深度反应离子刻蚀制造
机译:由具有声子晶体结构和碳纳米管吸收层的绝缘体上硅制成的MEMS红外热电堆。
机译:用于MEMS谐振装置制造的Z-Cutα石英的深反应离子蚀刻
机译:深度反应离子蚀刻工艺制造的MEMS盘谐振器阵列复合材料的电压控制调谐倾斜度