首页> 外文OA文献 >Inclination Effects on Voltage-controlled Tuning of MEMS Disk Resonator Array Composite Fabricated by Deep Reactive Ion Etching Process

【2h】

Inclination Effects on Voltage-controlled Tuning of MEMS Disk Resonator Array Composite Fabricated by Deep Reactive Ion Etching Process

机译：深度反应离子蚀刻工艺制造的MEMS盘谐振器阵列复合材料的电压控制调谐倾斜度

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Haixia Yan; Jinyan Bao; Quan Yu; Linxi Dong;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2018
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Inclination Effects on Voltage-controlled Tuning of MEMS Disk Resonator Array Composite Fabricated by Deep Reactive-ion Etching [J] . Yan Haixia, Bao Jinyan, Yu Quan, Sensors and materials . 2018,第11a3a期

机译：倾斜对深反应离子刻蚀制造的MEMS磁盘谐振器阵列复合材料的压控调谐的影响
2. Reliable operation conditions of MEMS capacitive disk resonator fabricated by deep RIE process under step and shock signals [J] . Dong Linxi, Li Hao, Bao Jinyan, Integrated Ferroelectrics . 2017,第期

机译：在步骤和冲击信号下由深rie工艺制造的MEMS电容磁盘谐振器的可靠操作条件
3. Laser desorption ionization (LDI) silicon nanopost array chips fabricated using deep UV projection lithography and deep reactive ion etching [J] . Morris Nicholas J., Anderson Heather, Thibeault Brian, RSC Advances . 2015,第88期

机译：使用深UV投影光刻和深反应离子蚀刻制造的激光解吸电离（LDI）硅纳米多型阵列芯片
4. Voltage-controlled tuning to optimize MEMS resonator array-composite output power [C] . Akgul Mehmet, Ren Zeying, Nguyen Clark T.-C. 2011 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium European Frequency and Time Forum . 2011

机译：压控调谐可优化MEMS谐振器阵列的复合输出功率
5. Shape Tuning of Silicon Nano-tip Arrays Through Reactive Ion Etching for Cold Field Emission [D] . Sankabathula, Giridhar Tulasi Ram. 2020

机译：通过用于冷场排放的反应离子蚀刻硅纳米尖阵的形状调谐
6. Picosecond carrier dynamics induced by coupling of wavefunctions in a Si-nanodisk array fabricated by neutral beam etching using bio-nano-templates [O] . Takayuki Kiba, Yoshiya Mizushima, Makoto Igarashi, 2012

机译：通过使用生物纳米模板通过中性束蚀刻制造的硅纳米盘阵列中的波函数耦合而诱发的皮秒载流子动力学
7. Large-scale Patterning of Hydrophobic Silicon Nanostructure Arrays Fabricated by Dual Lithography and Deep Reactive Ion Etching [O] . Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan, 2014

机译：双光刻和深反应离子刻蚀制备的疏水性硅纳米结构阵列的大规模图案化

Inclination Effects on Voltage-controlled Tuning of MEMS Disk Resonator Array Composite Fabricated by Deep Reactive Ion Etching Process

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅