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【2h】

Large-scale Patterning of Hydrophobic Silicon Nanostructure Arrays Fabricated by Dual Lithography and Deep Reactive Ion Etching

机译：双光刻和深反应离子刻蚀制备的疏水性硅纳米结构阵列的大规模图案化

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Zhibo Ma; Chengyu Jiang; Weizheng Yuan; Yang He;
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年度 2014
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