プラズマプロセスグループの3年間の活動をふりかえって

摘要

平成15年4月に新しくスタートしたプラズマプロセスグループは、材料合成プロセスの進行する化学反応場をプラズマにより精密に制御して新材料を創製することをめざしてきた。 独自のプラズマ発生法の開発を通してセラミックス材料の高機能化を進め、欠陥構造、サイズ、構成相を制御した酸化チタン、ナノクリスタルダイヤモンド等ナノサイズ粒子のプラズマ合成、パルス変調高周波熱プラズマ処理による発光材料の開発、パルス化スパッタリング法による酸化物薄膜合成に関する研究を行ってきた。