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公开/公告号CN101715603B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-04-10
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN200880017184.5
发明设计人 赵尚俊;汤姆·崔;韩太竣;姜肖恩;波罗跋枷罗·卡帕拉达苏;严必明;
申请日2008-05-19
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人周文强
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:13:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-04-10
授权
2010-08-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20080519
实质审查的生效
2010-05-26
公开
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