大気圧プラズマプロセスをベースとした単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦化·平滑化（第1報）－Ar+O_2マイクロ波プラズマジェットのエッチング特性

摘要

本研究では，マイクロ波プラズマジェットを用いて単結晶ダイヤモンド基板のエッチング特性を評価し，おこない以下のことがわかった．(1)発光分光測定からArガス流量の増加に伴い，酸素原子由来の波長777nmの発光スペクトル強度が増加しており，発光スペクトル強度とエッチングレートの相関は見られなかった．(2)熱電対温度の測定からエッチングレートの増加と基板温度の上昇に相関があることがわかった．(3)断面TEMによる観察の結果，ダイヤモンド基板表面のグラファイト化は見られなかった．