一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置

摘要

本发明提出了一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置，属于等离子体和微波技术领域。解决了测量大气压等离子体射流的电子密度的问题。它包括所述谐振腔放置在试验台上，所述谐振腔内部由金属铜箔全面覆盖，所述谐振腔上开设有放置孔，所述放置孔内放置射流放电玻璃管，所述射流放电玻璃管内设置射流等离子体并连接电极，所述第一探测天线和第二探测天线对称设置在谐振腔的腔体内，所述第一探测天线和第二探测天线分别连接频谱分析仪的输入端和输出端。它主要用于具有较低电子密度的低温常压等离子体。