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机译:用金属辅助深反应离子蚀刻产生的硅纳米线的各向同性蚀刻
Laboratory for Nanotechnology Vietnam National University-Ho Chi Minh City Community 6 Linh Trung Ward Thu Duc District Ho Chi Minh City Vietnam;
Laboratory for Nanotechnology Vietnam National University-Ho Chi Minh City Community 6 Linh Trung Ward Thu Duc District Ho Chi Minh City Vietnam;
Si NWs; deep reactive ion etching; DRIE; Au NPs; isotropic etching; bias voltage;
机译:用金属辅助深反应离子蚀刻产生的硅纳米线的各向同性蚀刻
机译:使用深反应离子刻蚀控制硅纳米线密集阵列中的硅纳米线锥度角
机译:黑色硅法-在轮廓控制下确定深硅沟槽刻蚀中基于氟的反应离子刻蚀参数设置的通用方法
机译:使用新型氢化辅助深反应离子蚀刻的硅纳米线制造
机译:使用灰度光刻和深反应离子刻蚀开发深硅相菲涅耳透镜
机译:可重复使用的表面增强拉曼光谱基片该基片由硅纳米线阵列制成并涂有通过金属辅助化学蚀刻和光子还原技术制备的银纳米颗粒
机译:黑硅方法:通过轮廓控制确定深硅沟槽蚀刻中氟基反应离子蚀刻机参数设定的通用方法