マイクロ·ナノ金型製作用レーザー·イオンビーム複合加工機の開発

摘要

われわれは、マイクロ·ナノ金型製作用に、複数のレーザー加工、集束イオンビーム加工技術および機上計測技術を摺り合わせた「レーザー·イオンビーム複合加工機」を開発した。 ここでは装置の概要と簡単な加工実験の結果を報告する。