レーザー·集束イオンビーム複合加工に関する研究（第1報）－レーザー·集束イオンビーム複合加工機の開発

摘要

超精密·微細な表面構造を持つ光学部品や，マイクロ医療用部品などの次世代超微細デバイスを作製するには，ミリメートルからセンチメートルスケールのデバイス形状の全体に亘って，ナノメートルからマイクロメートルスケールの超精密微細三次元構造を高効率で加工する「マイクロ·ナノ部材加工装置」が必要である．これは，工作物の着脱無しで，機上計測しながら，広面積·自由形状の工作物に超精密微細三次元構造を加工する装置である．また，微細化を可能にする「装置精度」と，生産の経済性を可能にする「高スループット」の両立を図る必要もある．そこで我々は，複数のレーザー加工技術，集束イオンビーム加工技術及び機上計測技術を摺り合わせた「レーザー·集束イオンビーム複合加工機」を開発した．本報では，装置の設計指針と性能について報告する．