使用激光、E束或聚焦离子束的HDD图案化设备

摘要

提供了一种用于制造磁性存储介质的方法和设备。构形基板涂覆有磁致激活材料，通过用来自激光、e束或者聚焦离子束的能量处理部分的磁致激活材料，在所述材料中形成磁性图案。通过使束穿过分割器，可将所述束分割成细束包，所述分割器对于激光能量可以是衍射光栅，对于电子可以是薄膜单晶，或者对于离子可以是穿孔板，或者可以通过发射器阵列产生所述束。之后通过光或者电场将细束聚焦成所需尺寸和分布。可进一步通过使束穿过任意所需形状的孔来塑形最终的束包。可顺序施加最终的束至暴露区域，以处理整个基板或者多个基板。