聚焦离子束电子束双束系统在钢铁材料研究中的应用

摘要

聚焦离子束电子束双束系统集成了电子束的高分辨率和离子束的样品加工功能,在半导体行业的材料失效分析领域发挥着积极的作用.近年来,双束系统开始在钢铁材料研究领域推广和应用.本文对双束系统在钢铁材料透射电镜样品制备、三维原子探针样品制备等方面作了详细分析,同时介绍了双束系统在钢铁材料表面形貌的分析、图像三维重构、失效分析以及镀层厚度检测等方面的应用.