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机译:CF4 / Ar电感耦合等离子体中Pb(Zr,Ti)O-3薄膜的刻蚀特性及机理
机译:Cl_2 / Ar和CF_4 / Ar感应耦合等离子体中Mo薄膜的刻蚀特性及机理
机译:Cl_2 / C_2F_6 / Ar和HBr / Ar等离子体中Pb(Zr_xTi_(1-x)O_3薄膜的感应耦合等离子体刻蚀
机译:用于电子材料蚀刻的高密度电子回旋共振和感应耦合等离子体源的比较:电子材料的新等离子体蚀刻方案。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:感应耦合CF4 / Ar等离子体对TiN薄膜进行干法刻蚀
机译:在Cl(2)/ Xe,Cl(2)/ ar和Cl(2)/ He中的III-氮化物的电感耦合等离子体蚀刻;材料研究学会Internet Journal of Nitride semiconductor Research